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濮阳水喷射真空罗茨真空泵-诚泽机械质量保证

濮阳水喷射真空罗茨真空泵-诚泽机械质量保证

济南诚泽机械有限公司
  • 经营模式:生产加工
  • 地址:中国山东章丘市相公镇工业园
  • 主营:罗茨风机,罗茨鼓风机,真空泵,增压泵,养殖增氧机罗茨风机配件
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    济南诚泽机械有限公司专业生产罗茨鼓风机,三叶罗茨鼓风机,高压双油箱水冷式风机,沼气增压泵,管道增压泵,真空泵的厂家,公司本着“质量优质,诚信为本”的指导方针,以过硬的产品质量,及时完善的售后服务已在国内外市场占领一席之地。公司不仅有使您满意的销售,而且有令您放心的售后服务,彻底追求产品质量和建立相应的售后服务体系是我们一贯的方针,我们将总结经验、不断进取,研制出更新、更好的产品来满足用户的需求,用我们全位的服务,为您企业的发展作有力的后盾。

    真空腔室的模块化设计和加工

    该设备属生产设备,主要功能包括:钛/锆磁控溅 射镀装饰膜,反应膜、复合膜。其它功能还包括:行星旋转基片台、负偏压辅助沉积、PLC+HMI真空自动/手动控 制、水冷循环及断水保护系统,预留多个标准接口。真空腔室的模块化设计和加工。通过此项技术提高了腔室设计和加工效率,提高了重大部件的加工质量和互换性,缩短了整条线的交货周期。使用高性能旋转阴极和中频电源,大蒸发电流达到400A,大大提高生产效率及膜层性能;通过辅助5段供气,提高真空环境工艺气体分布均匀性,提高膜层质量;安装整体式模块化阴极屏蔽挡板,大大减少维修时间,降低维修成本。阴极采用隔离冷却装置,改变以往阴极磁钢因工作在循环水中不断吸附杂质而影响磁场强度和寿命。新方法使磁钢工作在真空环境,水喷射真空罗茨真空泵厂家,大大提高了阴极稳定性和寿命。采用自主研发的倾斜式磁钢矩阵排列,扩大了阴极靶材表面气隙场范围,增大了靶材被刻蚀溅射的面积,提高靶材的利用率和均匀性。表面气隙场水平分量均匀性在±2%以内。使用自主研发的三维空间磁场测量分析系统,系统用于测量磁钢阵列的空间气隙场分布及磁钢安装、调整,为阴极研发提供有效的技术手段。触摸屏+PLC,可以实现电脑全自动控制,自动/手动随时切换。同时配备先进的圆柱磁控溅射装置和高效的电阻加热蒸发装置,将磁控溅射技术和加热蒸发技术的有效结合,使设备的适用范围更广,可得到多种不同性能的膜层;独特的双门(室)结构,使工件及镀料的装卸与镀膜可同时进行,大大提高工作效率。



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    保养方法
    (一)、罗茨真空泵定期检查:
    1、每日检查:
    1)油位检查:油量过多,使温度升高,油量过少,造成润滑不良。
    2)温度检查:用温度计检查泵各部位温度。
    3)电动机负荷检查:用功率表或电流,电压表测量电动机负荷。
    2、罗茨真空泵每月检查:
    联轴器及垫片是否损坏和松动。
    3、罗茨真空泵每3个月检查:
    齿轮箱内润滑油是否变质。
    4、罗茨真空泵每6个月检查:
    1)前盖轴承箱内润滑油是否变质。
    2)活塞环及活塞环衬套是否磨损。
    3)齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响,是否需要调整。
    (二)、罗茨真空泵拆装:
    增压泵进行拆卸和重新装配时,须根据以xia注意事项进行:
    1、罗茨真空泵未拆卸前,先测量并记录转子各部分间隙。
    2、尽量避免用重锤敲打,拆下的零件不得碰伤,妥善保管好。
    3、将需要更换的零部件的更换原因及使用情况详细记录下来。
    4、罗茨真空泵重新装配前须把各零部件清洁干净,毛刺修光。
    5、无密封垫衬或密封圈的静密封面用“106”有机硅橡胶涂料。用干净密封的橡胶密封件,需涂上真空考克脂。带溢流阀真空泵溢流阀上的密封圈及平面上不得涂任柯油脂。
    6、根据间隙一览表调整转子各部分间隙。
    7、全部装好后须进行检漏。
    8、重装后须进行试运转和必要的性能测试,待正常后才能安装使用。



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    罗茨真空泵的两个转子在泵体中如何布置,决定了泵的总体结构。国内外罗茨真空泵的总体结构布置一般有三种方案:
    1、立式:两个转子的轴线呈水平安装,但两个转子轴线构成的平面与水平面垂直,这种结构,泵的进排气口呈水平设置,装配和连接管道都比较方便。但其缺点是泵的zhong心太高,在高速运转时稳定性差,所以除小规格的泵外,采用这种结构型式的不太多。
    2、卧式:两个转子的轴线呈水平安装,濮阳水喷射真空罗茨真空泵,两个转子轴线构成的平面成水平方向,这种结构的泵的进气口在泵的上方,排气口在泵的下方(也有与此相反的)。下边的排气口一般为水平方向接出,所以进排气方向是相互垂直的。排气口接一个三通管向两个方向开口,一端接排气管道,另一端死或接旁通阀时使用。这种结构的特点是重xin低,高速运转时稳定性好。国内外大中型泵多采用此种结构型式。
    3、竖轴式:国外有的罗茨泵的两个转子轴线与水平面垂直安装。这种结构的装配间隙容易控制,转子装配方便,占地面积小,水喷射真空罗茨真空泵哪里有卖,但齿轮等传动机构装拆不便,润滑装置也较复杂。
    当总体结构决定后,泵体本身的结构与形状也就相应地决定了。
    4、带溢流阀的罗茨泵:为了防止超载引起事故,罗茨泵上装有一个比较可靠的安全保护器,即在旁通管路上装有一个溢流阀。排气口处于规定压力时,溢流阀是关闭的。当其排气口压力超过规定压力时,则溢流阀的阀门自动被顶开而产生溢汉,排气口压力变正常后,溢流阀再自行关闭。它能自动调节,也是泵的允许压差装置,因此溢流阀的好处是使罗茨泵能连同前级泵一起,在各种压力范围内能连续运转。采用这种设计,能使真空容器在粗真空状态的抽气停息时间可缩短30~50%.对于比较大的泵,溢流阀安装在泵体外边的旁通管路上,在比较小的泵上,溢流阀则是装在泵壳内的。
    5.带蒸汽冷凝器的罗茨泵:在需要抽吸蒸汽情况下,抽气机组必须设计会使蒸汽冷凝的冷凝器,这个冷凝器可装在泵之前或装在泵之后,而不装在罗茨泵的泵体上。在某种情况下,冷凝特升化吸热能够减少罗茨泵发热。假设采用了复式冷凝器,在维修时可用适当的溶剂清除污垢,蒸汽就能顺畅地在导管中流动。


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